Применение протонных пучков для модифицирования полупроводников и производства материалов и приборов полупроводниковой электроники. Презентация доклада

Автор:
В.А. Козлов, Генеральный директор «Power Semiconductors Ltd.», Руководитель отдела исследований и разработок полупроводниковых материалов и приборов НПО «ФИД - Техника» и «FID-GmbH»

Презентация представлена в рамках круглого стола «Радиационные технологии в микроэлектронике» (V Петербургский международный инновационный форум, 27 сентября 2012 года).